24 сентября на форуме «Микроэлектроника 2024» резиденты ОЭЗ «Технополис Москва» - «Микрон», крупнейший производитель российской микроэлектроники (входит в группу компаний «Элемент»), и Зеленоградский нанотехнологический центр, ведущий российский исследовательский центр в сфере технологий и оборудования микроэлектроники, подписали долгосрочное соглашение о сотрудничестве в целях решения задач импортозамещения оборудования. Предметом соглашения является сотрудничество в освоении технологий и производстве фотолитографического оборудования с нормами 350-90 нм на территории Российской Федерации.
В масштабах соглашения планируются мероприятия сосредоточенные на постановке технологии производства отечественного оборудования и обеспечению им производственных площадок, проведение совместных исследований, экспериментальных работ и тестирования установок фотолитографического и электроннолучевого оборудования, оборудования контроля привносимой дефектности на собственных производственных площадках, а также организация программ обучения и стажировок профессионалов.
Кабмин разрабатывает льготы в электронном машиностроении
Соглашение о сотрудничестве подписано генеральным начальником АО «ЗНТЦ» Анатолием Ковалевым и генеральным начальником АО «Микрон» Гульнарой Хасьяновой.
«Актуальная задача для микроэлектроники сегодня - развитие электронного машиностроения и технологий, прежде всего фотолитографии. Производство фотолитографа требует наисильнейшего научного потенциала, в мире менее 10 стран, способных его производить, среди них и Россия. В масштабах сотрудничества с Микроном планируются совместные исследования, экспериментальные работы и тестирование фотолитографического оборудования с топологическими нормами 350-90 нм, разрабатываемого совместно с белорусским ОАО «Планар», - отметил генеральный директор АО «ЗНТЦ» Анатолий Ковалев.
«Фотолитография - ключевая логическое произведение в микроэлектронике. Оборудование, которое мы будем осваивать совместно с ЗНТЦ, создано для выпуска чипов с топологическими нормами до 350 нм, которые используются в силовой электронике, автоэлектронике и промышленных системах. Импортозамещение оборудования - необходимое условие обеспечения технологического суверенитета», - сообщила генеральный директор АО «Микрон» Гульнара Хасьянова.
Фотолитограф - важнейшее оборудование в техпроцессе, созданное для формирования структуры микросхемы на кремниевой пластине, покрытой слоем фоторезиста - полимерного светочувствительного материала.
Новые разработки силовой электроники представлены на коллективном стенде ГК «Элемент» - стенд №14 в выставочной зоне юбилейного форума «Микроэлектроника 2024», который проходит 23-28 сентября на площадке Научно-технологического Университета «Сириус» (Федеральная территория «Сириус», Олимпийская деревня).
Фото: Flickr